Chế tạo và nghiên cứu vật liệu tổ hợp từ-điện với lớp từ giảo có cấu trúc nano và vô định hình dùng cho cảm biến từ trường micro-tesla

Abstract

+ Chế tạo thành công vật liệu tổ hợp từ điện dạng màng mỏng TbFeCo/PZT (Terfecohan/PZT) và dạng tấm Metglas/PZT. + Xá định được nhiệt độ tối ưu ho màng Terfe oh n. Màng mỏng sau khi xuất hiện cấu trúc tinh thể n no và do đó đã àm tăng ường tính chất từ, từ giảo và từ-điện ph c v cho m đí h hế tạo cảm biến từ trường yếu có độ nhạy và độ phân giải cao. + Tối ưu hóa cấu hình vật liệu tổ hợp từ-điện dạng tấm (số lớp, kí h thước, cấu trú , …). + Đề xuất được mô hình lý thuyết để mô phỏng và tính toán chính xác một số thông số vật lý c a hiệu ứng từ-điện cho kết quả phù hợp với kết quả thực nghiệm. + Chế tạo thành công các mẫu thử: cảm biến từ trường trái đất 1D, 2D và 3D từ vật liệu tổ hợp từ điện với cấu hình tối ưu. Khảo sát thành công khả năng đo ường độ từ trường trái đất và gó định hướng c a nó với độ nhạy và độ phân giải cao.+ Đóng gói hoàn thiện thiết bị cảm biến đo gó b o gồm đầu đo tí h hợp với mạ h điện tử. + Các kết quả nghiên cứu c a luận án có thể được phát triển tiếp t c theo hướng hoàn thiện sản phẩm ứng d ng tiến tới thương mại hóa sản phẩm.